東京03-5379-0051 大阪06-6674-2222
名古屋052-686-4794 仙台022-218-0560
粒状性のない導電性薄膜を作製し、熱・電子線ダメージなく観察
プラズマ処理とカーボン蒸着の連続工程で、コンタミのない分析
スパッタとエッチング機能を搭載
コンパクトなスパッタコータ
高真空排気 70L/sの空冷ターボポンプを搭載
親水化・クリーニングをダメージなく処理、PDMSも簡単に接着
省スペース（B5サイズ以下）・リーク不要・簡単操作！
サンプルをホルダーごとクリーニングでき、広範囲にコンタミ除去
大気・酸素・アルゴン・CF4等、各種活性ガスを使用
特許取得の新MWE技術で分光エリプソメトリー解析を実現
自動測定＆解析で迅速な膜厚マッピングが可能
コーターやエッチング装置に搭載・In Situでリアルタイム計測
小さなスポットサイズ(0.3×0.7mm)での測定や品質管理に最適
液相で極低分子の吸脱着、分子の構造変化の定量フロー測定ができます。
高温中でのガス吸着測定、触媒反応のリアルタイム詳細解析に。
局在表面プラズモン共鳴（LSPR）を応用した超高感度センサー。
小型で新しい高感度オンラインTOCアナライザー
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