DST1-170／
高真空スパッタコーター特長

• 高真空ターボポンプ 90L / s（Leybold）
• 精度1nm、分解能1Å の水晶厚モニター
• コーティング速度を制御して、より微細な粒子構造を実現
• 時間と厚さを手動／ 自動設定にて成膜
• 過去 300 回のコーティング履歴の保存
• 電子シャッターを装備
• 交換が容易な試料ステージ（回転ステージを標準装備）
• 2 年間の保証

真空チャンバーは円筒形パイレックスです。 高真空スパッタコーターであるDST1-170には、内部に 90 L / sのターボ分子ポンプが取り付けられており、4m³ / hの 2 ステージロータリーベーンポンプで支えられています。
通常の拡散ポンプに存在するオイル汚染のないクリーンな真空を導入します。