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DSR1/
高性能スパッタコーター特長

DSR1/高性能スパッタコーター

分かりやすいタッチパネル式ディスプレイ
膜厚計・サンプル回転ステージ標準搭載

DSR1/高性能スパッタコーター
  • 2段、ダイレクトドライブ4m3 / h、ロータリーポンプ
  • より細かい粒子構造を実現するためにコーティング速度を制御
  • 時間と厚さを手動/自動設定にて成膜可能
  • 過去300回のコーティング履歴の保存
  • 交換が容易な試料ステージ(平面回転または回転ステージを標準装備)
  • 2年間の保証
  • CE適合性

カラータッチスクリーンコントロール

カラータッチスクリーンコントロール

自動制御とデータ入力を備えており、真空、電流、堆積の情報は、 タッチスクリーン上でデジタルデータまたは曲線として観察できます。 最後の300コーティングの情報も履歴ページに保存できます。

サンプルホルダー

サンプルホルダー

DSR1はユーザーの要件に応じて、様々なサンプルステージを装備できます。
標準のサンプルステージは、高さ、角度を調整して回転可能で、簡単に変更できます。

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