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FS-1/
マルチスペクトル・エリプソメーターアクセサリー

FS-1 マルチスペクトル・エリプソメーター

オプションラインナップ

FS-XY150/FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル

FS-XY150/FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル
自動測定&解析で迅速な膜厚マッピングが可能

FS-1マルチスペクトル・エリプソメーターとコンパクトなマッピングステージを組み合わせて、 ウェーハ前面を迅速かつ正確で信頼性の高い膜厚測定を実現します。 電動ステージとFS-1ソフトウェアを組み合わせることで、膜厚の等高線図を自動で得ることが可能です。

  • 典型的な膜厚の再現性:0.015 nm
  • サンプルオートアライメントの電動Zステージ搭載
  • 膜厚等の各パラメータの等高線図が得られます。

FS-1O-ISI In Situ エリプソメーター

    コーターやエッチング装置に搭載・In Situでリアルタイム計測
FS-1O-ISI In Situ エリプソメーター
  • 複数の工程条件で、蒸着率と薄膜の光学定数(n/k値)を特定
  • ALD、スパッタ、CVD、電子ビーム蒸着など 多数の薄膜コーティングに応用可能

FS-1-FBI 極小エリア測定モデル

FS-1-FBI 極小エリア測定モデル
  • 小さなスポットサイズ(0.3×0.7mm)での測定
  • CCDカメラとウェハー用マニュアルステージ搭載
  • 品質管理に最適

FS-F27 フォーカスレンズセット

    フォーカスレンズを使用することで、サンプル上の照射サイズを0.55×1.3mm、0.3×0.7mmに小さくすることができます。
    (ピンホール設定)

FS-F27 フォーカスレンズセット

FS-W1 ワイヤレスオプション

    FS-1へ無線LANで接続するためのコンパクトなワイヤレスルーターです

FS-W1 ワイヤレスオプション
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