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FS-1/
マルチスペクトル・エリプソメーターアクセサリー

FS-1 マルチスペクトル・エリプソメーター

オプションラインナップ

FS-XY150/FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル

自動測定&解析で迅速な膜厚マッピングが可能 FS-1マルチスペクトル・エリプソメーターとコンパクトなマッピングステージを組み合わせて、 ウェーハ前面を迅速かつ正確で信頼性の高い膜厚測定を実現します。 電動ステージとFS-1ソフトウェアを組み合わせることで、膜厚の等高線図を自動で得ることが可能です。
典型的な膜厚の再現性:0.015 nm、サンプルオートアライメントの電動Zステージ搭載、膜厚等の各パラメータの等高線図が得られます。

FS-XY150/FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル

FS-IS1  In Situ アダプター

FS-1O-ISI In Situ エリプソメーター
  • FS-1光源と検出機器の設置アダプター
  • 標準で2.75”または1.33″のコンフラット真空フランジに接続可能
  • 光軸の位置合わせ用チルトステージ調節が容易に可能

  • ※上記画像には、InSitu小型サンプル用アライメント(FS-DT)が含まれております。


FS-1-FBI 極小エリア測定モデル

  • 小さなスポットサイズ(0.3×0.7mm)での測定
  • CCDカメラとウェハー用マニュアルステージ搭載

FS-F27 フォーカスレンズセット

FS-F27 フォーカスレンズセット
    フォーカスレンズを使用することで、サンプル上の照射サイズを0.55×1.3mm、0.3×0.7mmに小さくすることができます。
    (ピンホール設定)

液中測定にも対応(FS-1とQCMの膜厚比較)

FS-W1 ワイヤレスオプション
    別途、液中チャンバーをご用意いただくことで溶液中での測定にも対応します。上図はQCMシステムとドッキングさせて、1つのサンプル(デキストランの堆積)をQCMとエリプソの2手法で測定した事例です。
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