FS-1／
マルチスペクトル・エリプソメーターアクセサリー

自動測定＆解析で迅速な膜厚マッピングが可能 FS-1マルチスペクトル・エリプソメーターとコンパクトなマッピングステージを組み合わせて、 ウェーハ前面を迅速かつ正確で信頼性の高い膜厚測定を実現します。 電動ステージとFS-1ソフトウェアを組み合わせることで、膜厚の等高線図を自動で得ることが可能です。
典型的な膜厚の再現性：0.015 nm、サンプルオートアライメントの電動Zステージ搭載、膜厚等の各パラメータの等高線図が得られます。