FS-1／
マルチスペクトル・エリプソメーター動画

ウェビナー動画公開中

過去に開催いたしました製品紹介ウェビナーの「アーカイブ動画」を公開しています。
アプリケーションのご紹介や、デモンストレーションなども実施しておりますので、どうぞご研究にお役立てください。

FS-1マルチスペクトルエリプソメーターのご紹介 (応用編)～最新測定事例のご紹介と実機操作～（2021年6月2日開催）

130年前に考案されたエリプソメトリー技術は、非破壊・非接触でサブモノレイヤーから数μｍの薄膜の膜厚や光学定数を高精度に計測可能です。本セミナーでは、近年飛躍的に発達したエリプソメトリーの中でも「高精度な測定」を「簡便な操作」でかつ「低コスト」を実現させた、FS-1 マルチスペクトルエリプソメーターとその最新の使用事例をご紹介致します。FS-1を通してエリプソメーターでin situやex situ測定、マッピング測定を行った使用事例と昨年リリースとなった赤外領域もしくは紫外領域のスペクトルを追加した新製品FS-1EX、FS-1UVについて紹介いたします。また、実際に装置を使用した薄膜測定も実施致します。
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