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本資料では、弊社取り扱い製品である、FS-1／マルチスペクトル・エリプソメーターと、他社2製品との性能を表で比較しています。
「価格」「測定方法」「測定波長範囲」「in situ測定」「測定制度」など、全7項目で詳細に評価しております。
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