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エリプソメーター（薄膜解析・超薄膜）　装置一覧

マルチスペクトル・
エリプソメーター(FS-1)

マルチスペクトル・エリプソメーター (FS-1)

特許取得の新MWE技術で分光エリプソメトリー解析を実現

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自動膜厚マッピングモデル
(FS-XY150／FS-RT300)

親UVオゾンクリーナー plus (PC-450)

自動測定＆解析で迅速な膜厚マッピングが可能

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In Situ エリプソメーター
(FS-IS1)

プラズマクリーニング装置 (PC-2000)

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