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| FS-1 G3 マルチスペクトル・エリプソメーター |
FS-1EX G3 マルチスペクトル・エリプソメーター | |
|---|---|---|
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| 光源 | LED | |
| 使用波長 | 450nm、 525nm、595nm、660nm | 405nm、450nm、525nm、660nm、 850nm、950nm |
| 精度 (Precision) |
0.001 nm 以内 ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート１秒で測定時 |
0.001 nm 以内 ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート１秒で測定時 |
| 最大データ 取得レート |
10ms | |
| 入射角 | 65度 | |
| サンプルサイズ | φ200㎜、厚さ23㎜ | |
| 照射サイズ | 4 × 9 mm (＊0.55×1.3mm、0.3×0.7mm) ＊オプション使用時 | |
| 標準付属品 | - | |
| 設置サイズ | W400×D200mm | |
| 重量 | 5 ㎏ | |
| 電源 | AC100V 0.5A | |
| 消費電力 | 50W | |
| 型式 | FS-XY150 自動膜厚マッピングモデル |
FS-RT300 自動膜厚マッピングモデル |
|---|---|---|
 |
 |
|
| 光源 | LED | |
| 使用波長 | 405nm、450nm、525nm、660nm、850nm、950 nm | |
| 精度 (Precision) |
0.001nm以内 ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート１秒で測定時 | |
| 最大データ 取得レート |
10ms | |
| 入射角 | 65度 | |
| サンプルサイズ | 150×150㎜ | φ300㎜ |
| 照射サイズ | 0.8 x 1.9㎜ ＊その他オプション有 | |
| 標準付属品 | XY自動ステージ ＜移動距離＞ 150×150㎜、分解能：5μm ＜ウェハーマッピング時間＞ 120秒(49点測定) |
回転自動ステージ ＜移動距離＞ 直線方向：150㎜分解能：12μｍ 回転方向：360°分解能：0.1° ＜ウェハーマッピング時間＞ 150秒(49点測定) |
| 設置サイズ | W600×D600㎜ | W400×D500㎜ |
| 重量 | 16㎏ | 22㎏ |
| 電源 | AC100V 1.7A | |
| 消費電力 | 170W | |
資料請求などもこちらからどうぞ。お気軽にお問い合わせください。
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