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FS-1/
マルチスペクトル・エリプソメーター仕様

FS-1 マルチスペクトル・エリプソメーター
型式 FS-1
マルチスペクトル・エリプソメーター
FS-1-FBI
マルチスペクトル・エリプソメーター
極小エリア測定モデル
精度 0.001nm以内   ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート1秒で測定時
光源 LED (青 465 nm, 緑 525 nm, 黄 580 nm, 赤 635 nm)
最大データ
取得レート
10ms
入射角 65度
サンプルサイズ φ200㎜、厚さ23㎜ 4”、5”、6”のウェハー
照射サイズ 4×10mm
(*0.55×1.3mm、0.3×0.7mm)
*オプション FS-S27使用時
0.3×0.7㎜
標準付属品 - CCDカメラ/マニュアルX-Y移動ステージ
設置サイズ W400×D200mm W500×D400mm
重量 3.5㎏ 14㎏
型式 FS-XY150
自動膜厚マッピングモデル
FS-RT300
自動膜厚マッピングモデル
精度 0.001nm以内   ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート1秒で測定時
光源 LED (青 465 nm, 緑 525 nm, 黄 580 nm, 赤 635 nm)
最大データ
取得レート
10ms
入射角 65度
サンプルサイズ 150×150㎜ φ300㎜
照射サイズ 0.8 x 1.9㎜ *その他オプション有
標準付属品 XY自動ステージ
<移動距離> 
150×150㎜、分解能:5μm
<ウェハーマッピング時間> 
60秒(49点測定)
回転自動ステージ
<移動距離>
直線方向:150㎜分解能:12μm
回転方向:360°分解能:0.1°
<ウェハーマッピング時間>
90秒(49点測定)
設置サイズ W600×D600㎜ W400×D500㎜
重量 16㎏ 22㎏
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