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PLD-T／熱蒸着機付き
卓上パルスレーザーデポジションシステム特長

PLD-T　熱蒸着機付き卓上パルスレーザーデポジションシステム

2インチマグネトロンカソード、
80WスイッチングDC電源を備えた高真空スパッタコーター

PLD-T　熱蒸着機付き卓上パルスレーザーデポジションシステム
  • 回転速度を調整できるターゲットマニピュレーター
  • 3つの熱源
  • リアルタイム膜厚計（精度1 nm）
  • 直感的なタッチスクリーン
  • ネットワーク経由で更新できるユーザーフレンドリーなソフトウェア
  • 回転式サンプルホルダー
  • 電子シャッター
  • 500℃の基板ヒーター
  • 2年間の保証

ターゲットマニピュレーター

ターゲットマニピュレーター

PLD-Tには、直径2cmの3つのターゲットを含むマルチターゲットマニピュレーターが装備されています。ターゲットは標準サイズです。すべてのターゲットマニピュレーターは電動式で、ターゲットの回転が含まれています。 

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