東京03-5379-0051 大阪06-6212-2500
名古屋052-686-4794 仙台022-218-0560
本体サイズ ( H x W x D ) | 450 × 500 × 370 (mm) ※ターボポンプ除く |
---|---|
重量 | 36 Kg |
電源 | 220 -240 V、50 / 60 HZ、16 A |
高精度膜厚モニター | ○ |
蒸着源数 | 1 |
到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度:90L / s 到達真空度:7 × 10 -7 Torr 未満 |
PC転送 | USBポートでグラフとスパッタリングプロセスデータをPCに転送可能 |
資料請求などもこちらからどうぞ。お気軽にお問い合わせください。
資料請求などもこちらからどうぞ。
お気軽にお問い合わせください。