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CADE/
カーボンコータアプリケーション

短時間・高純度で再現性の高いカーボン蒸着

高倍率でも
粒状性のない観察

  • Si基板

SEM観察, EDS分析,
FIB保護膜に

  • シュードタキライト
  • ガラス基板上のITO

回り込みの良い
コーティング

  • 酸化物粉体

カーボン蒸着前の
クリーニング

  • アクリル板

カーボン蒸着後の
測定事例

  • アクリル板

高倍率でも粒状性のない観察

カーボンの粒子が小さいため、高倍率でも粒状性のない画像が得られます

●Si基板
Si基板にカーボン蒸着(左)、Pt+Pd蒸着(右)を行い、それぞれを10万倍で観察しました。
観察では白金パラジウムのコートがよいとされておりますが、画像を見てわかるとおり、カーボンの粒子が小さいため、10万倍の高倍率でもチャージアップせずしっかりと観察が行えます。
※カーボン蒸着では粒状性が見れなかったため、フォーカスが合っていることを確認するため、コンタミの付着している部分を撮影しました。

カーボンの粒子が小さいため、高倍率でも粒状性のない画像が得られます

SEM観察, EDS分析, FIB保護膜に

短時間で再現性の高い分析前処理を実現

●シュードタキライトの観察・分析
1回のコーティングでチャージアップすることなくシュードタキライトのSEM画像が得られております。また、厚みムラのない薄膜でのコーティングが可能なため、シュードタキライトにおける気泡もはっきりと確認できております。
CADEでは使い切りの超高純度ファイバーを使用してコーティングを行うのため、回り込みよくチャージアップのないSEM観察ができ、EDS分析においてもコンタミを検出することはありません。また、サンプルセットからコートまでの一連の工程はわずか5分なので、短時間かつ再現性の高い分析前処理ができます。

SEM観察, EDS分析, FIB保護膜に

試料ダメージのないFIB保護膜

●ガラス基板上のITO
FIB保護膜にはFIB装置内でタングステン(W)や白金(Pt)コートしますが、スパッタによるダメージが入ります。そこで予めカーボンコートすることにより、スパッタのダメージを防ぎ、サンプル本来の形状が観察可能になります。
下の画像はCADEでカーボン膜を築層させており、カーボン膜の各層が縞模様のように確認できます。しかしタングステン膜付近はタングステンコート時のダメージにより縞模様が見られなくなっています。

試料ダメージのないFIB保護膜

回り込みの良いコーティングで、複雑な表面構造をクリアに観察

●酸化物粉体のSEM観察画像
複雑な形状をした酸化物紛体も、CADEなら回り込み良くコーティングができるため、1回のコーティングでチャージアップのないクリアな画像が得られます。

回り込みの良いコーティングで、複雑な表面構造をクリアに観察

カーボン蒸着前のクリーニング・カーボン蒸着後の親水化

サンプルのカーボン膜の付きをよくしたり、コンタミ除去のためにカーボンの蒸着前にプラズマクリー二ングを行います。クリーニングなし、ありでそれぞれ接触角をとり比較しました。

●アクリル板の親水化処理

アクリル板の親水化処理

●カーボン蒸着後のアクリル板のエッチングの違い

カーボン蒸着後のアクリル板のエッチングの違い
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