CADE カーボンコータ

サンプルセットからコートまでのたった5分で 
高純度で再現性の高いカーボン蒸着を実現
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白金パラジウム蒸着との高倍率観察での粒状性の比較

カーボンの粒子が小さいため、高倍率でも粒状性のない画像が得られます

 

●Si基板 
Si基板にカーボン蒸着(左)、Pt+Pd蒸着(右)を行い、それぞれを10万倍で観察しました。
観察では白金パラジウムのコートがよいとされておりますが、画像を見てわかるとおり、カーボンの粒子が小さいため、10万倍の高倍率でもチャージアップせずしっかりと観察が行えます。
※カーボン蒸着では粒状性が見れなかったため、フォーカスが合っていることを確認するため、コンタミの付着している部分を撮影しました。

Si基板

 

高純度カーボン膜でSEM観察・EDS分析・FIB保護膜に

短時間で再現性の高い分析前処理を実現

 

●シュードタキライトの観察・分析 
1回のコーティングでチャージアップすることなくシュードタキライトのSEM画像が得られております。また、厚みムラのない薄膜でのコーティングが可能なため、シュードタキライトにおける気泡もはっきりと確認できております。
CADEでは使い切りの超高純度ファイバーを使用してコーティングを行うのため、回り込みよくチャージアップのないSEM観察ができ、EDS分析においてもコンタミを検出することはありません。また、サンプルセットからコートまでの一連の工程はわずか5分なので、短時間かつ再現性の高い分析前処理ができます。

シュードタキライトの観察・分析

 

資料御提供:
筑波大学 生命環境系地球進化科学専攻 氏家 恒太郎 様

試料ダメージのないFIB保護膜

 

●ガラス基板上のITO 
FIB保護膜にはFIB装置内でタングステン(W)や白金(Pt)コートしますが、スパッタによるダメージが入ります。そこで予めカーボンコートすることにより、スパッタのダメージを防ぎ、サンプル本来の形状が観察可能になります。
下の画像はCADEでカーボン膜を築層させており、カーボン膜の各層が縞模様のように確認できます。しかしタングステン膜付近はタングステンコート時のダメージにより縞模様が見られなくなっています。

ガラス基板上のITO

 

回り込み良いコーティングで、複雑な表面構造をクリアに観察

回り込みの良いコーティング

 

●酸化物粉体のSEM観察画像
複雑な形状をした酸化物紛体も、CADEなら回り込み良くコーティングができるため、1回のコーティングでチャージアップのないクリアな画像が得られます。

酸化物粉体のSEM観察画像

 

カーボン蒸着前のクリーニング

CADE-Eによるアクリル板の親水化処理

 

サンプルのカーボン膜の付きをよくしたり、コンタミ除去のためにカーボンの蒸着前にプラズマクリー二ングを行います。クリーニングなし、ありでそれぞれ接触角をとり比較しました。

CADE-Eによるアクリル板の親水化処理

 

カーボン蒸着後の親水化

カーボン蒸着後のアクリル板のエッチングの違い

 

多くのTEMグリットの支持膜は疎水性のためガラスナイフのボート水面上の切片試料など、水系試料を支持膜上に保持するのが困難です。CADEーEは同一真空下で親水化処理ができるため、支持膜表面をプラズマ照射により親水化することができます。カーボン蒸着後にエッチングなし、ありでそれぞれ接触角をとり比較しました。

カーボン蒸着後のアクリル板のエッチングの違い

 

カーボン蒸着後エッチングなしの接触角が46度に対し、エッチングをした接触角は12度と親水化されていることが分かります。CADE-Eはカーボン蒸着後に効率よく親水化処理が行えます。

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