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| 型式 | CADE-4T | CADE-E | CADE |
|---|---|---|---|
| チャンバー寸法 | Φ140×165 ㎜ | ||
| 試料台寸法 | Φ90mm | Φ80 ㎜ | |
| 蒸着源 | 特殊処理高純度炭素ファイバー | ||
| 蒸着源電圧 | DC 20 V | ||
| コート時間 | 1.7秒 | ||
| プラズマ放電 | なし | 実装 | なし |
| 放電時間 | － | 15秒 | － |
| ポンプ容量 | 136ℓ/min | ||
| 重 量 | 18 kg | ||
| 最大消費電力 | 1000 W | ||
| 消費電力量 | AC 100 V 最大15A（真空ポンプの起動含む） | ||
| 本体外径寸法 | 360 （Ｗ）×350 （Ｄ）×410 （Ｈ）㎜ | ||
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