東京03-5379-0051 大阪06-6212-2500
名古屋052-686-4794 仙台022-218-0560
本体サイズ ( H x W x D ) | 500 × 600 × 470 (mm) |
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重量 | 70 Kg |
電源 | 220 - 240 V、50 / 60 HZ、16 A |
高精度膜厚モニター | ○ |
蒸着源数 | 最大 3 |
到達真空度 | 高真空ターボポンプ使用 ポンプ速度:90L / s、350 L/ s、 到達真空度:7 × 10 -6 Torr 7 × 10 -7 Torr |
PC転送 | 堆積プロセスデータをUSBポートでPCに転送 |
資料請求などもこちらからどうぞ。お気軽にお問い合わせください。
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