SEDE ソフトプラズマエッチング装置

SEDEプラズマソフトエッチング装置 仕様
型式 SEDE-PFA SEDE-P SEDE-GE
放電方式 グロー放電
パワー 3~18W *
試料ステージ φ148 ㎜ φ80 ㎜
均一照射面積 80% 55%
領域面積 138㎝2 28㎝2
自動モード あり なし
超微調整機能 あり
使用可能ガス 大気・酸素・アルゴン 他
真空ポンプ容量 L136または50L/min 50L/min
設置サイズ 367×258 ㎜
重量 18Kg 17Kg 11Kg
* 出力は研究内容に合わせて、より低出力にも高出力にもカスタマイズする事ができます。

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PE-2000 プラズマエッチング装置
RF周波数 13.56 MHz
出力

0 ~ 150 W (連続可変)

冷却方式 水冷式
安全ロック RFパワー、ガス導入、真空系においてインターロック方式を採用
チャンバーサイズ 200 (φ)× 100 (H) ㎜
真空到達時間 約30 秒
対応TEMホルダー 全てのサイド及びトップエントリー型試料ホルダーに対応
試料ポート数 3 箇所
ビューポート あり
ガス導入 2 種類のガスを別々に導入可能(ニードルバルブ付)
使用ガス Ar、O2、Cl2、CCl4、他活性ガス各種使用可能
VENTシステム 独立ポート装備、窒素ガス他を使用可能
装備寸法 515 (W)× 330 (D)× 220 (H) ㎜
重量 約20 kg
PC2000 プラズマクリーニング装置
RF 周波数 13.56 MHz
  パワー 0 ~ 150 W (連続可変)
電極 ステンレス製 φ200 ㎜
冷却方式 水冷式
安全ロック RFパワー、ガス導入、真空系においてインターロック方式を採用
チャンバーサイズ φ200 ×H 100 ㎜
真空到達時間 約30 秒
対応TEM試料ホルダー すべてのサイド及びトップエントリー型試料ホルダーに対応
試料ポート数 3 つ
ビューポート あり
ガス導入

2 種類のガスを別々に導入可能/

ニードルバルブでの微量調整可能

使用ガス Ar、O2、CF4、Cl2、CCl4 他、活性ガスの使用可能
VENTシステム 独立導入ポートのため、VENTガスに窒素ガスを使用可能
装置寸法 515 (W)×330 (D)×220 (H) ㎜
重量 約 20 kg
PC450 UVオゾンクリーナー
光源 水銀ランプ
波長 184.9 、253.7 nm 他
寸法 241.3(D) × 200(W) × 152.4(H) ㎜
石英サンプルステージ 101 × 101 ㎜
サンプルステージ内高さ 7.9 ㎜ (石英ステージ取外し時 26.9㎜)
操作制御 タイマー時間制御 (60分)
安全装置 インターロック機構、安全表示ランプ
電源 100V 50/60Hz 0.5A
重量 4.5 ㎏

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