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SEDE/
ソフトプラズマエッチング装置仕様

SEDE ソフトプラズマエッチング装置

各部詳細

SEDE ソフトプラズマエッチング装置

SEDE ソフトプラズマエッチング装置 仕様

型式 SEDE-PFA SEDE-P SEDE-GE
放電方式 グロー放電
パワー 3~18W *
試料ステージ φ148 ㎜ φ80 ㎜
均一照射面積 80% 55%
領域面積 138㎝2 なし
自動モード あり なし
超微調整機能 あり
使用可能ガス 大気・酸素・アルゴン 他
ポンプ容量 L136または50ℓ/min 50ℓ/min
設置サイズ 367×258 ㎜
重量 18Kg 17Kg 11Kg
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