SEDE ソフトプラズマエッチング装置

PDMSを簡単に強力接着
オート+マニュアルモードで再現性の高いサンプル処理 
SEDE-PFA 
大口径ソフトプラズマエッチング装置 
(オートマニュアル兼用モデル)

  • オートモードで多サンプルでも再現性高く処理
  • 特殊電極構造により、パワーロスとムラのない安定したプラズマ処理
  • コンパクトな卓上型でも138㎝2の広範囲均一照射面積を実現
  • スパーキングのないダメージレスソフトエッチング
  • 安定した低出力プラズマ放電で、PDMS基板接着や試料極表面のエッチング処理に最適

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SEDE-PFA 大口径ソフトプラズマエッチング装置(オートマニュアル兼用モデル)






均一照射面積138㎝2! 
SEDE-PFAのマニュアルモデル 
SEDE-P
大口径ソフトプラズマエッチング装置

  • コンパクトな卓上型でも、名刺2枚分が設置できる大口径ステージ
  • スーパーファインニードルの調整でマニュアル操作でも簡単に希望するプラズマパワーでの安定処理ができます。
  • 大気導入やアルゴンガスによるプラズマクリーニングだけでなく、酸素導入を使った有機物処理に最適なモデルもあり、広範囲での使用ができます。
SEDE-P 大口径ソフトプラズマエッチング装置






SEDEシリーズのスタンダードモデル 
SEDE-GE
ソフトプラズマエッチング装置

  • 小さなサンプルの処理に最適な、チャンバー径の小さいローコストモデル
  • 親水化処理や残渣処理を化学薬品や高温処理などを行わず、プラズマ処理を行う場面で活躍します。
  • 大気導入やアルゴンガスによるプラズマクリーニングだけでなく、酸素導入を使った有機物処理に最適なモデルもあり、広範囲での使用ができます。
  • スーパーファインニードルの調整でマニュアル操作でも簡単に希望するプラズマパワーでの安定処理ができます。
SEDE-GE ソフトプラズマエッチング装置






大気・酸素・アルゴン・CF4等、各種活性ガスを使用
PE-2000
プラズマエッチング装置

  • 高効率RFプラズマ法と低電圧バイアス制御により、イオンシリングや電解研磨等で出来たアモルファス層をダメージフリーで除去。
  • 出力(0~150 W 無段階調整)と、処理時間(0 ~ 99時間)設定でき、様々な条件での処理ができます。
  • 独立したベントポートを装備し、処理後大気導入だけではなく、窒素ガス、Arガスの導入も可能です。
  • フォトレジストストリップ、酸化膜や窒化層の除去エッチング、プラスチックの表面処理、高分子材料等のクリーニングなど応用範囲は様々です。
  • 試料ステージ:Φ150㎜
PE2000 プラズマクリーナー






サンプルをホルダーごとクリーニングでき、
広範囲にコンタミ除去

PC-2000
プラズマクリーニング装置

  • 変性層の除去や、コンタミ防止の有機物クリーニングをSEM、TEM試料ホルダーごとクリーニング
  • 全てのサイドエントリー及び、トップエントリー型試料ホルダーに適応
  • RF放電による均一クリーニング、Ar、O2、CF4、Cl2、CCl4等、活性ガスの使用ができます。
  • 装置には3つのポートがあり、最大3つまでの試料ホルダーを挿入し、同時にクリーニングすることができます。
  • プラズマクリーニングの特許を保有する、アルゴンヌ国立研究所Dr.Nestor J.Zaluzecとライセンス契約を結び製品化した装置です。
PC2000 プラズマクリーナー






省スペース(B5サイズ以下)・リーク不要・簡単操作!
PC-450
UVオゾンクリーナー plus

  • 各種素材の親水化処理・クリーニング・表面改質・UV滅菌ができます
  • 高出力・ワイドエリアUVオゾン処理により(照射範囲:101×101㎜)、短時間で処理ができます
  • AFMカンチレバー、SPM Tipのクリーニング・再生化
  • ガスボンベ、排気等不要
  • インターロック機構、安全表示ランプ搭載
  • 安価な標準出力モデルもご用意しております。
    (PC440 UVオゾンクリーナー)
PC450 UVオゾンクリーナー






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