SEM、TEM観察標本を精密・効率よく作製するために
設計、開発された研磨ジグ

SBT590 トライポッド・ポリッシャー

SBT590 トライポッド・ポリッシャー各部名称
sbt590 トライポッドポリッシャー

■ウェッジ研磨
ウェッジ研磨の際には、サンプル先端全体がTEM観察部位となりますので、広範囲の観察ができます。

ウエッジ研磨

トライポッドポリッシャー アプリケーション

シリコンウエハサンプル TEM画像

左図の様にサンプルを楔型に研磨を実施し、赤い印部分のTEM観察を行います。 右図はトライポッド研磨だけで仕上げた試料断面TEM画像。 PtSi/Si界面の厚さは725Åです。Si部分には研磨によるキズはみられません。



シリコンウエハサンプルのTEM画像


W plug TEM画像

表面のアモルファス化を起こすことなく、機械研磨のみで、研磨によるキズがない状態で界面の状態まで観察ができます。


w plugのTEM画像



魚耳石のサンプル作製

魚耳石には、毎日非常に細かい線の輪が形成されています。 成長の良いときは広く、成長が悪いときには狭くなるので、木と同じような年輪が形成されます。 これを日輪と言い、日輪の幅や本数を観察することは、魚の年齢・成長率・行動範囲を研究する上で非常に重要になってきます。 通常、耳石の観察はテクニックを要するのですが、適切な機器を選ぶことで再現良く観察を行うことが出来ます。
の図はイワシの耳石です。赤いラインの箇所で断面を観察する必要があります。 この際にSBT590を使用することで容易に断面を出すことが出来ます。

イワシの耳石


手順① SBT590で研磨

研磨を行う際には、事前にパイレックスインサートへWAXで固定します。

耳石手順②


手順② SBT920で研磨

SBT920プログラム自動研磨装置

SBT920 研磨パラメーター


手順③ SBT650でカット

SBT650ロースピードダイヤモンドホイールソー

観察できるようになったサンプルは、SBT650を使用して適切な位置でカットを行います。
カットに必要な時間は2分です。 カット後のサンプルはスライドガラスなどで固定し、
顕微鏡で観察します。

観察に適したサンプルの作製効率・
正確さに大きな効果

ハンドラッピングジグ

ジグ各種の仕様
ハンドラッピングジグ特長

●SBT150、151、155ジグは水平に研磨するだけではなく、試料台を変えることにより研磨角度を 0.25°、 0.5°、1.0°、10°、20°、30°、45°、60°、90°に調節できます。(それぞれの試料台はオプション)


SBT900 小型試料研磨装置と一緒に使用すれば、研磨時間が大幅に短縮します。さらにSBT920 自動研磨装置と併用すれば自動研磨装置として使用できますので、作業性が向上します。



ハンドラッピングジグの特長


SBT163 大型ハンドラッピングジグ

今まで難しかった大型サンプルでも片べりなく研磨

底面幅φ114mm 荷重840g 試料最大サイズφ79㎜

SBT163 大型ハンドラッピングジグの各種画像

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