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MG-400CS/
マイクロ・グラインディング・マシン特長

MG-400CS マイクロ・グラインディング・マシン

平行かつ極薄で片べりのない研磨試料を作製

MG-400CS マイクロ・グラインディング・マシン

「8の字研磨」で超フラット研磨を実現

「8の字研磨」で超フラット研磨を実現

試料ブロックは研磨板に対し平行に取り付けられた2本のステンレスガイド上を左右に往復運動します。

研磨板の回転円運動とプレートホルダーの直線往復運動の組合せにより「8の字」に近い運動で研磨が行われ、極めてフラットに研磨されます。

また、カウンターバランス機構による一定荷重は、硬い試料だけではなく軟らかい試料、複合試料での鏡面研磨など、目的・用途に合わせた研磨ができます。

SEMによる断面・表面観察、EPMA, AESなどの表面分析の前処理にも最適です。

片べりなく、薄さ30μm以下の精密研磨

試料は吸着式プレートホルダーに保持されて研磨されます。
プレート(スライドガラス)及び研磨面が全て研磨盤に対して平行になるため、片べりなく薄さ30μm以下の精密研磨が出来ます。

リアルタイムに研磨量をモニタリング

リアルタイムに研磨量をモニタリング

付属のデジタルマイクロメーターは研磨量を逐次的に1μm単位でモニターでき、研磨量の設定、自動終了させることができます。

研磨途中で厚さ計測、表面状態の観察ができます

吸着プレートホルダーを採用することにより、研磨途中でプレートを装置から外し、厚さの計測や顕微鏡での表面状況を観察することができます。計測・観察後は同じ位置にサンプルを取り付けることができます。

吸着式プレートホルダーでスライドガラスの研磨ができます

光学顕微鏡による断面・表面・透過観察、走査電子顕微鏡による断面・表面観察、EPMA/AESなどの表面分析等の試料前処理用として優れた性質を持つ、超精密研磨装置です。

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