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Neoc/
オスミウムコータサポート

新型電極や新型バルブへのアップグレードを承ります

再現性の向上

電極側面をラウンド加工し、さらに電極周囲を絶縁のテフロンで覆っているため、電極ほぼ全面均一安定照射を実現しました。
装置取扱いに不慣れな方でも、簡単に膜厚の制御ができます。

大型サンプルに対応

均一に照射できる面積が格段に広がったため、従来の電極では処理が困難であった、大型基板の全面均一処理や複数個のサンプルの同時処理が可能になりました。

Neoc 電極とバルブ
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