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PC-2000/
プラズマエッチング装置特長

PC-2000 プラズマエッチング装置(特長)

サンプルをホルダーごとクリーニングでき
広範囲にコンタミ除去

  • 変性層の除去や、コンタミ防止の有機物クリーニングをSEM、TEM試料ホルダーごとクリーニング

  • 全てのサイドエントリー及び、トップエントリー型試料ホルダーに適応

  • RF放電による均一クリーニング、Ar、O2、CF4、Cl2、CCl4等、活性ガスの使用ができます。

  • 装置には3つのポートがあり、最大3つまでの試料ホルダーを挿入し、同時にクリーニングすることができます。

  • プラズマクリーニングの特許を保有する、アルゴンヌ国立研究所Dr.Nestor J.Zaluzecとライセンス契約を結び製品化した装置です。
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