4色LEDと特許取得の新MWE技術で分光エリプソメトリー マルチスペクトル・エリプソメトリー FS-1


4つのLED(青、緑、黄、赤)光源を採用
FS-1
マルチスペクトル・エリプソメトリー

  • 特許取得の新MWE技術で分光エリプソメトリー解析を実現
  • 10mSecで高速測定を実現
  • 複雑な調整やソフトウェア設定が不要
  • 低コスト化を実現

  • 特長・操作方法動画 測定原理動画
FS-1 
マルチスペクトル・エリプソメトリー

同一センサーをQCM-Dとエリプソメトリーで測定&解析
FS-1Q QCM-D同時計測モデル new
  • QCM-D測定(Wet Mass、粘弾性)+エリプソメトリー
    (Dry Mass、光学的膜厚)での同時計測を低コストで実現

QCM-D同時計測モデル


自動測定&解析で迅速な膜厚マッピングが可能
FS-XY150/FS-RT300
自動膜厚マッピングモデル new

FS-1マルチスペクトル・エリプソメトリーとコンパクトなマッピングステージを組み合わせて、 ウェーハ前面を迅速かつ正確で信頼性の高い膜厚測定を実現します。 電動ステージとFS-1ソフトウェアを組み合わせることで、膜厚の等高線図を自動で得ることが可能です。


  • 典型的な膜厚の再現性:0.015 nm
  • サンプルオートアライメントの電動Zステージ搭載
  • 膜厚等の各パラメータの等高線図が得られます。

自動膜厚マッピングモデル


コーターやエッチング装置に搭載・In Situでリアルタイム計測
FS-1O-ISI In Situ エリプソメトリー
  • 複数の工程条件で、蒸着率と薄膜の光学定数(n/k値)を特定
  • ALD、スパッタ、CVD、電子ビーム蒸着など
    多数の薄膜コーティングに応用可能

InSitu測定モデル 多重波長エリプソメーター

FS-1-FBI 極小エリア測定モデル
  • 小さなスポットサイズ(0.3×0.7mm)での測定
  • CCDカメラとウェハー用マニュアルステージ搭載
  • 品質管理に最適
極小エリア測定モデル 多重波長エリプソメーター

FS-F27 フォーカスレンズセット
  • フォーカスレンズを使用することで、サンプル上の照射サイズを
    0.55×1.3mm、0.3×0.7mmに小さくすることができます。
    (ピンホール設定)
極小エリア測定モデル 多重波長エリプソメーター

FS-W1 ワイヤレスオプション
  • FS-1へ無線LANで接続するための
    コンパクトなワイヤレスルーターです
極小エリア測定モデル 多重波長エリプソメーター


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