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Q150TS /
ターボスパッタコーター特長

Q150TS ターボスパッタコーター

高真空設計で様々なターゲットでの成膜ができます

Q150TS ターボスパッタコーター



  • 高真空排気 70L/sの空冷ターボポンプを搭載(5×10-3~5×10-1mbar)
  • lrやCrをスパッタコーティングする事ができます
  • トップフランジを交換し、真空蒸着機能に変換する事も可能です
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