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IBS/e/
イオンビームスパッタコーター特長

イオンビームスパッタコーター

様々なサンプルに対応した万能スパッタリング装置
同一チャンバー内でイオンエッチングもできます

エッチング・ポリッシングも同一チャンバー内で実施

エッチング・ポリッシングも同一チャンバー内で実施

ステージの角度を調節することで、ポリッシングとエッチングを使い分けることが可能です。

2つの電子銃でスパッタリングを行います

2つの電子銃でスパッタリングを行います

コーティング中に、ステージの角度と回転の調節を行えます。Φ50mm以上の広範囲に10Å以上のハイレゾリューションな膜生成を行えます。

蒸着源も15種類からニーズに合ったものを選択頂けます

ターゲット 顕微鏡タイプ 倍率 使用用途
Au,Au/Pd STANDARD SEM <2,000X 低倍の観察に
Ir,Pt FESEM,FETEM <200,000X 両方は粒状組織において類似しています。イリジウムの方が電子線よりサンプルを保護する機能が優れています。
Ta,Ti,W,Cr FESEM,FETEM <200,000X 50万倍でも粒状性が見えません。
C FESEM,FETEM <500,000X EDXなど分析時のコーティングに。
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