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| ポンプシステム | Roughing Pump : 40l/mN2 Turbo Pump : 250l/sN2 Base Pressure 10-7Toor Operating Pressure X10-5Toor (真空引き時間：5-15分) |
| Ion Sources | ビームエネルギー : 2.5-10kV ､ ビームフラックス : 15mA/cm2 |
| ステージ仕様 | ステージの傾き : 0-99°､ 回転速度 : 3.5-30RPM |
| ガス仕様 | ソースガス : Ar 99.999% Pure （プレッシャー : 2sccm@5-7PSI） ベントガス : N2@TPSI |
| 電源 | 110V/15A 50Hz/60Hz |
| サイズ･重量 | 高さ：48.26cm 横幅：71.2cm 奥行：76.2㎝ 重量：54.43㎏ |
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